洁净间
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洁净间一般分为100级、1000级、10000级、100000级几个等级，每一等级都对每立方米空气中大于一定直径灰尘的数量有严格的规定。 洁净度100级：大于等于0.5μm的尘粒数大于350粒/m3（0.35粒/L）到小于等于3500粒/m3（3.5粒/L）；大于等于5μm的尘粒数为0。 洁净度1000级：大于等于0.5μm的尘粒数大于3500粒/m3（3.5粒/L）到小于等于35000粒/m3（35粒/L）；大于等于5μm的尘粒数小于等于300粒/m3（0.3粒/L）。 洁净度10000级：大于等于0.5μm的尘粒数大于35000粒/m3（35粒/L）到小于等于350000粒/m3（350粒/L）；大于等于5μm的尘粒数大于300粒/m3（0.3粒/L）到小于等于3000粒/m3（3粒/L）。 |