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无尘室的污染控制及维护管理常识

一、污染源控制
无尘室洁净度维持和控制,除了设备之外,也需要良好的软件——管理制度来搭配。无尘室内微污染来源,经测试分析结果,作业人员占约80%,通风净化占15%,房屋建筑占5%。洁净室污染主要原因是人的因素。无尘室微污染控制,应遵守以下基本原则:
     1.外部侵入: 无尘室适当正压保持(>0.5mmAq),做好施工工程不漏气,人员设备、原材料进入无尘室前先做好清洁擦拭等,空气过滤器适当的管理和设置。
     2.室内产尘:隔间板、地板等无尘室材料的适当选用、生产设备产尘控制、洁净衣的管理、使用无尘室专用器等。
     3.室内布局:墙壁体应光滑无死角、无尘室需定期保养和清扫、生产设备四周应留有空间。
     4.尘埃排除:换气次数应足够,适当的空间布置以及污染源接排气和空调的气流速度须适当。

二、无尘室运转管理
1.作业人员管理
  (1)进入无尘室人员以维持最小限度原则(愈少愈好),并依无尘室进出标准流程进出无尘室。出则不须经风淋室脱尘处理。对作业人员必须经常讲解无尘室管理规范,加以教育与训练,经考试合格者方能进入无尘室工作。
 
(2)无尘室工作人员须注意以下事项:a.不可在作业区域气流之上方放置物品;b.不必要动作尽量避免以防止乱流产尘;c.与作业无关的谈话尽量避免;d.为控制产尘量,人员走动及作业要静静地进行;e.作业要在操作台面上进行;f.工具等须放入专用柜中,并固定放在一定的场所。
 
(3)以下情况不宜进入无尘室:a.刚做激烈运动流汗者;b.吸烟或吃东西后,尚未经过半小时以上者;c.因日晒、湿诊而皮肤有问题者;d.化学纤维或有机溶剂等化学药品有过敏性体质者;e.容易出受汗者;f.化妆或涂口红者;g.因哮喘、咳嗽或喷嚏者及不能安静工作者。
 
(4)以下物品不能进入无尘室:a.没有经过清洁等各种物品;b.纸箱及未经处理的笔记用纸等;c.铅笔、橡皮擦、墨水等; d.香烟、化妆品、卫生纸、饮食品等;e.打火机、宝石、装饰品、钱包、钥匙、手帕、小日记手册等个人物品。

2.原物料、设备进出管理
   原物料及设备进出无尘室,工作人员在室内清洁设备或物料时须穿着洁净衣服,所使用擦拭纸为无尘纸或无尘布,清洁剂可以使用纯水,搬运设备时为免破坏地板表面,须事先在地板上做保护。

3.无尘室内用品管理
   洁净衣鞋帽子等须由专人管理,并定期做清洗,清洗须在无尘室内进行,并以纯水配合清洁溶剂。洗涤周期视洁净度等级而定,在高洁净区(CLASS1)为2~3天,其它区域则为5-7天,洗涤完毕干燥后应立即密封。洁净衣之置放场所应为无尘室,并存放柜内,正使用的可挂在衣架上,方便取用。
   桌椅一般以不锈钢材质为佳,表面须加工处理。工作桌最好有打洞。椅子尽量采用没有背及脚踏板,椅脚高度以坐下来脚可以触到地板为原则,桌及椅子脚最好安装上塑料小轮子或套上橡胶套。
   无尘室应当使用专用吸尘器,由于吸尘器吸取无尘室内尘埃的时候会有排气产生,如果未经处理,将严重影响无尘室洁净度和气流,因而吸尘器在排气口应配有高效过滤器,以除去尘埃。

三、无尘室各系统维护保养管理
   1.生产设备选择、布置与保养: a.要选用产尘较少的生产设备,以容易清洁为原则;b.生产用水、气体、药品等应配备过滤装置;c.真空泵等应设置在无尘室外面或回风区,并加装排气;d.设置给水管线、气体管线和电气系统时,构造考虑到容易清洁,不易积累污染物;e.生产及相关设备应定期清扫,以避免微尘之堆积;f.应加强注意室内的温湿度控制,避免因湿度之不当造成结露生锈;g.当设备维维修时尽量于清洁室外进行,或加以隔离栅隔离;h.对于施工、维修厂商,应告知进出无尘室各项规定,并安排专人监工;i.应有无尘室专用工具组,但不得带出无尘室外使用。
    2.生产设备防尘措施:a.打磨、切削时需将发尘部分掩盖;b.易产生尘埃设备,尽量布置于车间边角地点;c.为不使气体或液体滞留,造成微污染,故管路配置应有旁路阀设置。
    3.建筑物维护管理:a.建筑物内定期检查清洁;b.地板清扫,每天两次;c.隔间墙及天花板检查清洁每周一次;d.窗户及门保养每周一次。
    4.防尘空调设备维护管理:a.温、湿度及尘埃浓度管理;b.过滤网管理:定期检查及更换;c.空气调节器管理:定期检查隔板接缝及内部污染状况,冷热盘管是否有腐蚀现象;d.送风机管理:定期检查送风机运转状况;e.风管及出风口管理:检查风管是否有腐蚀、污染、尘埃堆积或保温脱落等;f.室内压力管理:连续监视室内压力记录,以维持正压为基准;g.冷冻主机、泵浦、锅炉及冷却水塔管理:定期检查保养及记录运转状况及水质变化分析,以调整加药量等;h.无尘室开机要点管理:启动后须稳定10分钟以上时开始作业。

各种过滤网建议更换周期

种类

效率

最后压降

压差测试频率

出风口尘埃测试

过滤网更换周期

初效过滤网

AFI25%

10mmAq

在线随时测试

--

2次/年

中效过滤网

NBS65~95%

25mmAq

在线随时测试

--

2次/年

高性能过滤网

D.O.P.99.97%/0.3mμ

50mmAq

在线随时测试

1次/月

1年/次

超高性能过滤网

D.O.P.99.99995%/0.1mμ

50mmAq

在线随时测试

1次/月

5~10年

送风机之各项检查及周期

检查项目

周期

检查要点或标准

运转状况

1次/日以上

是否有不正常震动或其它异常现象及异音等

皮带之松紧度

1次/日以上

有无松弛或滑动声音

轴承之润滑油

1次/半年以上

补充润滑油以旧油脂排出为止

基础固定螺丝

1次/半年以上

检查固定螺丝有无松动

马达之绝缘测试

1次/半年以上

电压值3000V时---3MΩ电压值200V时---0.2MΩ

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